电子超纯水设备是专门为电子行业设计的水处理设备，旨在制备高度纯净水，以满足电子器件制造、半导体工艺、光刻技术等对超高纯水质的严格要求。这些行业需要高纯度水来确保产品的质量、稳定性和性能。
电子超纯水设备的工艺流程通常更加复杂，以确保水质的高度纯净性：
- 进料水： 原始水源（进水）进入系统，经过多级预处理步骤去除颗粒、氧化物、有机物等。
- 活性炭吸附： 活性炭用于去除水中的有机物、氯气和异味物质，提升水的口感和质量。
- 反渗透（RO）： RO膜过滤去除水中的溶解固体、重金属、微生物和离子，产生初级纯水。
- 混床离子交换： 混床交换树脂进一步去除水中的离子，以实现更高纯度。
- 臭氧氧化： 通过臭氧氧化，去除有机物和微生物等，提高水的纯度和卫生安全。
- 紫外线消毒： 紫外线辐射用于进一步灭活水中的微生物，提高水的卫生质量。
- 微粒过滤： 微粒过滤用于去除微小的颗粒，确保最终水质的纯净性。
- 最终纯净水收集： 经过多重处理的最终纯净水被收集，用于电子行业的各种应用。
电子超纯水设备在电子行业具有广泛应用：
- 半导体制造： 提供半导体制造所需的超高纯度水，保障制程的稳定性和产品的质量。
- 光刻技术： 光刻过程需要高纯度水制备光刻液，确保微细图案的清晰性。
- 电子组装： 在电子器件的制造和组装中，需要高纯度水清洗、冲洗和冷却。
- 平板显示制造： 平板显示器制造需要高纯度水制备液晶材料和清洁器件。
- 电子测试和检测： 电子器件的测试和检测过程需要高质量的水来保证准确性。
电子超纯水设备在电子行业中是关键的基础设施，确保电子产品的质量、稳定性和性能，并在先进的电子制造和加工中发挥着至关重要的作用。
设备系统根据用户需求定制
| 设计规范 | 参照标准 |
| 水质标准 | 《中国药典》《美国药典》《欧洲药典》纯化水、注射用水 |
| YY/T 1244-2014体外诊断试剂用纯化水 | |
| YY 0572-2015《血液透析及相关治疗用水》 | |
| GB 17324-2003瓶(桶)装饮用纯净水卫生标准 | |
| GB/T 6682-2008分析实验室用水国家标准 | |
| GMP法规 | 《中华人民共和国药品管理法实施条例》 |
| 《中国药品生产质量管理规范(2010修订)》 | |
| 《欧盟药品GMP指南》 | |
| 《药品生产验证指南》(2003年版) | |
| 《中华人民共和国药品质量管理规范(2010年版)》 | |
| 行业标准 | ISPE制药工程基本指南-水和蒸汽系统 |
| ASME BPE-2019生物加工设备 | |
| BS ISO 22519:2019纯化水和注射用水预处理及生产系统 | |
| GB 50913-2013医药工艺用水系统设计规范 | |
| 反渗透水处理设备GB/T 19249-2017 | |
| JB/T 20030-2012多效蒸馏水机 | |
| JB/T 20171-2016药用纯蒸汽灭菌器 | |
| 《水处理设备技术条件JB/T 2932-1999》 | |
| CJ/T 43-2005水处理用滤料 | |
| 医疗器械生产质量管理规范现场检查记录表 | |
| 《固定式压力容器安全技术监察规程》TSG 21-2016 | |
| 《钢制焊接压力容器GB150,GB151》 | |
| 《钢制焊接常压容器NB/T 47003.1-2009》 | |
| 《制药机械行业标准JB/T20093-2007》 | |
| 《食品工业用不锈钢薄壁容器QB/T2681-2004》 | |
| 《制药机械产品分类及编码GB/T 28258-2012》 | |
| 《生产自动化管理规范第4版》 | |
| 《GEP良好工程管理规范》 | |
| 《压力容器法兰标准NB/T 47020-2012》 | |
| 《钢制管法兰HG/T 20615-2009》 | |
| 《压力容器油漆、包装、运输JB 2536-80》 | |
| 电气安装标准 | 《电气装置安装工程电缆线路施工及验收规范GB50168-2006》 |
| 《电气装置安装工程接地装置施工及验收规范GB50169-2006》 | |
| 《电气装置安装工程盘/柜及二次回路施工及验收规范GB50171-92》 | |
| 《机械安全机械电气设备GB/T 5226.1-2019 》第一部分：通用技术条件 | |
| 《低压开关设备和控制设备成套装置IEC439-1》 |
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