制药、器械纯化水设备的工艺流程会根据具体的用途和水质要求而有所不同，但通常包括以下主要步骤：

1. 进料水： 原始水源（进水）进入设备，可能需要经过预处理，如初步过滤、软化等。
2. 预处理： 进水可能需要经过更严格的预处理步骤，如活性炭吸附、颗粒过滤等，以去除更多的杂质。
3. 反渗透（RO）： 经过预处理的水进入反渗透膜，通过压力驱动，将溶解在水中的离子、有机物等去除，得到高纯度的净水。
4. EDI（电离子交换）： 在EDI设备中，通过电离过程去除水中的离子，提高水的纯度。
5. 臭氧氧化（可选）： 部分设备可能会使用臭氧氧化等技术去除有机物和微生物，以确保水的卫生安全。
6. 最终过滤： 经过前述处理的水通过更精细的过滤，去除最后的微小颗粒和微生物。
7. 产出水： 经过多重处理的高纯度水被收集并供应给药品制造和器械生产流程使用。